MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片、ASIC芯片，第一、第二、第三线路板基板和框架基板，所述第一线路板基板和所述第二线路板基板相对设置，所述第三线路板基板位于上述两者之间，所述框架基板分别与所述第一、第三线路板基板固定，所述第二线路板基板与第三线路板基板固定，所述MEMS芯片和ASIC芯片均安装在第一线路板基板上，所述ASIC芯片通过引线在所述MEMS麦克风内部与所述第三线路板基板电连接，所述引线与第三线路板基板的连接点位于所述第三线路板基板与第二线路板基板相对的面上。本实用新型的所述MEMS麦克风可以提升产品灵敏度、改善频响高频部分和改善总谐波失真。

主权项

一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片和ASIC芯片，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括第一线路板基板、第二线路板基板、第三线路板基板和框架基板，所述第一线路板基板和所述第二线路板基板相对设置，所述第三线路板基板位于所述第一线路板基板和所述第二线路板基板之间，所述框架基板分别与所述第一线路板基板和所述第三线路板基板固定，所述第二线路板基板与所述第三线路板基板固定，所述MEMS芯片和ASIC芯片均安装在所述第一线路板基板上，所述MEMS芯片和ASIC芯片电性连接，所述ASIC芯片通过引线在所述MEMS麦克风内部与所述第三线路板基板电连接，所述ASIC芯片与第三线路板基板电连接的引线与第三线路板基板的连接点位于所述第三线路板基板与第二线路板基板相对的面上。