用于在溅射涂膜系统中固定和运输对撞击敏感的片的方法及装置

摘要

本发明涉及用于在给溅射系统供料的超净室中固定玻璃片的装置和方法，包括下列特征：a)辊子驱动器(12)，其设计成将运输框架(19)输送到定心单元，并将所述框架从所述单元输送到溅射系统，定心单元使运输框架(19)在水平方向上居中；b)升高和降低磁性轨座(2)中的运输框架(19)的框架提升单元(7)；c)固定和释放运输框架(19)的固定单元(5，8)，被提供用于打开和关闭容纳玻璃板(18)的框架夹子(17)的打开头(3)；d)用于使所述玻璃板(18)升高和枢转的提升单元，该单元使玻璃板进入垂直位置并将所述玻璃板置于运输框架(9)中。

主权项

一种用于在超净室中给溅射系统供料的固定和运输对撞击敏感的玻璃片的装置，包括下列特征：a)辊子驱动器(12)，首先用于将适合于相应玻璃片(18)的垂直运输框架(19)的滑走装置(21)输送到定心单元，以及其次用于向溅射系统进一步输送所述垂直运输框架，所述垂直运输框架的顶侧被引导在磁性轨座(2)中，所述定心单元使所述垂直运输框架(19)在水平方向上居中，其中所述垂直运输框架与水平方向垂直，b)框架提升单元(7)，用于升高和降低所述磁性轨座(2)中的所述垂直运输框架(19)，c)固定单元(5，8)，用于固定和释放所述垂直运输框架(19)，打开头(3)存在于所述垂直运输框架(19)的纵向侧和顶侧的区域中用于打开和关闭容纳玻璃片(18)的框架夹子(17)，d)所述玻璃片(18)的传输装置，用于使所述玻璃片(18)升高和枢转，所述玻璃片在水平位置由运输装置供应，所述传输装置使所述玻璃片进入垂直位置，其中所述垂直位置与所述水平位置垂直，然后将所述玻璃片置于所述垂直运输框架(19)中。