处理装置

摘要

本发明提供一种能够抑制输送机构的零件的消耗、维护间隔比以往的装置长的处理装置。处理组件对被处理体进行处理，前级组件用于载置还未被搬入到该处理组件中的被处理体。输送机构(5)在处理组件与上述前级组件之间输送被处理体，在产生了使上述输送机构的一连串的动作暂时停止的待机时间时，控制部(61)输出用于降低上述输送机构的输送速度的控制信号。

主权项

一种处理装置，其包括：处理组件，其用于对被处理体进行处理；前级组件，其用于载置还未被搬入到该处理组件中的被处理体；以及输送机构，其用于在上述处理组件与上述前级组件之间输送被处理体，其特征在于，该处理装置还具有控制部，当在上述输送机构的输送动作中产生了使上述输送机构的一连串的输送动作暂时停止的待机时间时，该控制部输出用于降低上述输送机构的输送速度的控制信号，该处理装置具有多个上述处理组件，在要将被处理体依次搬入到多个处理组件中的情况下，在不降低系统的生产率的情况下，对于上述输送机构的要向最初已搬入过被处理体的处理组件中搬入第2个以后的被处理体之前的与上述前级组件相关的一连串的输送动作，根据前级组件中对基板进行调换的时间、处理组件中对基板进行调换的时间和在处理组件中对基板进行处理的时间，利用从上述控制部输出的用于使输送速度降低的控制信号，使上述输送机构的输送速度降低。