厚度量测装置及其方法

摘要

本发明公开了一种厚度量测装置及其方法，所述厚度量测装置包含：一载具，其上放置有受测物体；一治具，其安装有数个探针；一电脑系统，其内建有软件程序，可撷取所有探针所量测的数值，并将其精确换算成待测物的厚度。由于电脑系统使用多个距离传感器的数据辅以数学计算以获得数据，使治具与载具之间的相对位置不须维持高精度并可任意变动，以提供稳定快速且准确的厚度量测。

主权项

一种厚度量测装置，其特征在于，包含有：一治具；一基准点感测单元，其设于治具上，并包含有至少三个探针；一量测点感测单元，其设于治具上，并包含有至少一个探针；一判读单元，其包含有一电脑系统与一显示器；该电脑系统可联机至治具的这些感测单元并读取及写入数据，而后使用内建的软件程序，将自感测单元读得的数据进行运算与分析，而后将结果输出至该显示器。