发明名称 | 一种基于纳米压电纤维的压力传感器 | ||
摘要 | 一种基于纳米压电纤维的压力传感器,涉及一种压力传感器。提供一种灵敏度较高的基于纳米压电纤维的压力传感器。设有硅基底、硼掺杂层、二氧化硅薄膜、金属电极和PVDF纳米压电纤维;所述硼掺杂层设于硅基底的上表面,硼掺杂层与硅基底连为一体,硅基底内设有空腔,二氧化硅薄膜生长在硅基底无空腔的一侧,2个金属电极固定在二氧化硅薄膜上,PVDF纳米压电纤维直接写在2个金属电极之间,PVDF纳米压电纤维与金属电极之间形成欧姆接触。 | ||
申请公布号 | CN102393264B | 申请公布日期 | 2013.07.24 |
申请号 | CN201110343031.3 | 申请日期 | 2011.11.03 |
申请人 | 厦门大学 | 发明人 | 王凌云;苏源哲;杜晓辉;占瞻;孙道恒 |
分类号 | G01L1/18(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/18(2006.01)I |
代理机构 | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人 | 马应森 |
主权项 | 一种基于纳米压电纤维的压力传感器,其特征在于设有硅基底、硼掺杂层、二氧化硅薄膜、金属电极和PVDF纳米压电纤维;所述硼掺杂层设于硅基底的上表面,硼掺杂层与硅基底连为一体,硅基底内设有空腔,二氧化硅薄膜生长在硅基底无空腔的一侧,2个金属电极固定在二氧化硅薄膜上,PVDF纳米压电纤维直接写在2个金属电极之间,PVDF纳米压电纤维与金属电极之间形成欧姆接触。 | ||
地址 | 361005 福建省厦门市思明南路422号 |