发明名称 Pallet table for loading semiconductor devices
摘要
申请公布号 KR200468034(Y1) 申请公布日期 2013.07.23
申请号 KR20110006679U 申请日期 2011.07.22
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/683 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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