真空装置用分隔阀

摘要

本发明系一种使用于蒸镀装置之真空装置用分隔阀，即使在该分隔阀位于开阀位置时，亦可避免蒸镀材料的蒸气之附着以保护阀箱之内壁面及阀体之密封构件，藉此提升蒸镀室之保持真空的可靠性。;系使用真空装置用分隔阀作为电子枪用分隔阀(1)，关闭阀时，与知相同，阀体(3)系将电子枪部由蒸镀室分离。开启阀时，则利用将筒状之活动屏蔽件(22)插入阀之阀室(15)内而将阀室(15)从蒸镀室分离，以避免阀箱(2)之内壁面以及阀体(3)的密封构件曝露在蒸镀室内的蒸气中，而保护不受蒸镀物(MgO)所附着。