具有多轴载台之半导体元件测试装置

摘要

本发明揭示一种具有多轴载台之半导体元件测试装置。在本发明一实施例中，该半导体元件测试装置包含一被建构以定义一测试室之壳体、一位于该壳体内且被建构以收纳该半导体元件之元件载具、一位于该壳体上之平台、一位于该平台上之对准模组、一位于该对准模组上之平坦度调整模组、一位于该平坦度调整模组上之角度调整模组、以及一位于该角度调整模组上之卡片支架，其中该卡片支架被建构以收纳一探针卡，其具有复数个探针。