发明名称 |
新颖的光敏性树脂组成物 |
摘要 |
一种光敏性树脂组成物,其包含:(d)至少一种聚苯并口咢唑前驱物聚合物;(e)至少一种具有结构VI之化合物:V1-Y-V2VI其中Y选自于S、O、NR2、(HOCH)p及每个R1选自于H、烷基、烯基、炔基、烷氧基或卤素;每个R2选自于H、SH、CH3、C2H5及包含硫醇基团之线性或分枝的C1-C4烷基;p为整数1至4;及其中V1及V2各自独立地选自于由下列所组成之群:;其中m各自独立地为整数0至4,其附带条件为仅有当Y=下列时,m=0:n为整数1至5;及每个R1如上述所定义;及(f)至少一种溶剂;其中该结构VI之化合物的存在量为,其可在当将该组成物涂布在一基材上及随后加工该基材以形成一影像时,能有效抑制残余物形成的量,其附带条件为若该聚苯并口咢唑前驱物聚合物独自由一在聚合物中不包含光活化部分的聚苯并口咢唑前驱物聚合物所组成,则(d)于该组成物中亦存在至少一种光活化化合物。 |
申请公布号 |
TWI402616 |
申请公布日期 |
2013.07.21 |
申请号 |
TW095119612 |
申请日期 |
2006.06.02 |
申请人 |
富士软片电子材料美国股份有限公司 美国 |
发明人 |
奈尼 亚玛A. NAIINI, AHMAD A. US;波威尔 大卫B. POWELL, DAVID B. US;麦特维N. 乔恩;鲁斯金 艾耶;贺普拉 理察 |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/039;C08G73/22;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |