适用于基板的高速视觉定位装置及其方法

摘要

一种适用于基板的高速视觉定位装置，其包含：一架体；一暂存区；一定位区；一搬移定位装置，其系可移动地设置于该架体上，用以吸取并搬移该些基板，其中该搬移定位装置包括一工形吸取头，其用于依序地吸附该些基板；至少两个设于该架体上之视觉装置，其系对应该工形吸取头，该至少两个视觉装置用以撷取被该搬移定位装置所吸取之每一基板的影像，以将该些基板加以定位；以及承放于该架体上之该载板。