以气雾方式清洗遮罩之方法及气雾式遮罩清洗设备

摘要

清洗设备包含一清洗室以及复数个雾化器，设置于该清洗室内。将待清洗之遮罩放入该清洗室中，该复数个雾化器将清洗液雾化，以清洗该遮罩。另外，该设备包含回收系统，以回收使用过的清洗液。