电浆处理装置

摘要

本发明之对被处理体W实施特定电浆处理之电浆处理装置包含：处理容器12，其可抽真空；被处理体保持机构20，其保持上述被处理体；高频电源58，其产生高频电压；及电浆气体供给机构38，其向上述处理容器内供给被电浆化之电浆化气体。为于上述处理容器内产生电浆，于上述高频电源之输出侧，藉由配线60而连接有共同成为激发电极状态之一对电浆电极56A、56B。又，于上述配线之中途设置有高频匹配机构72，此外电浆电极56A、56B均未接地。藉此，使电浆密度提高，并且使电浆产生效率提高。