感光性组成物、适用于感光性组成物之化合物、及使用感光性组成物之图案形成方法

摘要

一种感光性组成物含有一种可产生具有特定结构之有机酸的化合物，一种适用于感光性组成物的化合物，以及一种使用感光性组成物的图案形成方法。