溅镀含高蒸气压材料之镀膜的方法与装置

摘要

一种溅镀含高蒸气压材料之镀膜的方法与装置，其中的装置包括一腔体、安装在腔体内的一溅镀枪、设置于溅镀枪上的一复合靶材以及一基材承载台。所述复合靶材包括一主靶材以及数个小锭，这些小锭的材料是一高蒸气压材料，其是指在1000℃的蒸气压大于1×10-9torr的材料。而基材承载台是相对上述复合靶材安装在腔体内。