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发明名称
一种等离子发生装置及等离子处理装置
摘要
本发明提供一种等离子发生装置。此装置包括:绝缘板(Smn),沿第一方向及跨过第一方向的第二方向以矩阵形式排列;金属上板,包括其上设置绝缘板并具有四角形形状的贯通孔(Hmn);天线结构体(Tmn),设置于各绝缘板上。天线结构体包括:第一型天线结构体,接近于金属上板的边缘而设置;第二型天线结构体,接近于金属上板的边而设置;其中,第一型天线结构体比第二型天线结构体消耗更多的电力,从而可形成均匀等离子。
申请公布号
TWI403221
申请公布日期
2013.07.21
申请号
TW098137562
申请日期
2009.11.05
申请人
圆益IPS股份有限公司 南韩
发明人
安成一;宋尚镐
分类号
H05H1/46
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
洪尧顺 台北市内湖区行爱路176号3楼
主权项
地址
南韩
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