钴合金复合陶瓷溅镀靶材之制造方法

摘要

一种钴合金复合陶瓷溅镀靶材之制造方法，其系藉由真空熔炼制程与雾化制程，使钴金属锭与铬金属锭形成钴铬合金粉体。另外，进行湿式混粉制程，以形成铂-陶瓷浆体，其中陶瓷粉体系均匀镶嵌于铂金属粉体表面。接着，钴铬合金粉体与铂-陶瓷浆体进行另一湿式混粉制程，以形成钴铬铂-陶瓷浆体。然后，前述钴铬铂-陶瓷浆体系经乾燥、成型及致密化制程，而形成钴合金复合陶瓷溅镀靶材。所得之钴合金复合陶瓷溅镀靶材之组织细致、均匀、致密且导磁率较低，不仅有利于磁控溅镀制程，更可应用于磁记录产业之薄膜溅镀制程。