发明名称 |
用于微图案化层的组成物,该层具有高缓和能力、高化学阻抗性及机械稳定性 |
摘要 |
本发明系有关于一种可聚合复合物组成物,其包含a)至少一种具有至少一个烷基之可水解烷基矽烷、至少一种具有至少一个芳基之可水解芳基矽烷或至少一种具有至少一个烷芳基之可水解烷芳基矽烷,及至少一种含有一个环氧基之可水解矽烷的水解产物及/或缩合产物、b)至少一种具有至少两个环氧基之有机化合物,及c)一种阳离子起始剂,该可聚合复合物组成物一旦固化时,适于使基板具有图案化涂层或图案化模制物件。;所获得图案化涂层及模制物件显示高缓和能力、高化学阻抗性及机械稳定性。可获得具高形状稳定性之微图案。 |
申请公布号 |
TWI402311 |
申请公布日期 |
2013.07.21 |
申请号 |
TW095102246 |
申请日期 |
2006.01.20 |
申请人 |
智库新材料公益事业有限公司 德国;佳能股份有限公司 日本 |
发明人 |
贝克 卫林格 卡斯登;卡摩斯 派美拉;屈密特 贺穆特;桧野悦子;野口光敏;斋藤义一;大熊典夫 |
分类号 |
C08L83/04;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/16 |
主分类号 |
C08L83/04 |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
主权项 |
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地址 |
日本 |