测量方法、测量系统、检查方法、检查系统、曝光方法及曝光系统

摘要

本发明，系在将标线片装载于标线片测量机(步骤S50)时，于事前测量标线片测量机之标线片保持具所保持状态下之标线片的面形状(步骤S52)。由于标线片测量机之标线片保持具、与曝光装置之标线片保持具的面形状差为已知，因此于测量结果中加入此面形状差值，即能算出与曝光装置之标线片保持具所保持之状态同等状态下之标线片的面形状(步骤S56)。