发明名称 涂布装置
摘要 本发明的课题在于提供可减低外受到外部振动的影响之涂布装置,特别是提供可有效地防止与外部振动成为共振之涂布装置。;用以解决课题之手段为,在支承载置台2及狭缝式喷嘴移动机构之方形管20、21a~21c之凹部30装填共振防止构件31。当将共振防止构件装填于方形管时,支架台1的固有振动数会改变,故不会与外部振动一同成为共振状态。
申请公布号 TWI402626 申请公布日期 2013.07.21
申请号 TW096118216 申请日期 2007.05.22
申请人 东京应化工业股份有限公司 日本;达摩股份有限公司 日本 发明人 升芳明;宫本英典;池尻浩一;曽根康博
分类号 G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本