模板分离期间之应力减低的技术

摘要

于一压印微影术制程中，一压印微影术模板以及一图案化层之分离会造成对该模板之特征及/或该图案化层之特征产生应力。该应力可藉由将该模板上的开放区域减低至最少，包括于该等开放区域内的虚拟特征，及/或在模板上选择性地定位该等特征，可减低该应力。