| 发明名称 |
光照射装置之光照射方法以及光照射装置 |
| 摘要 |
提供一种从光照射装置照射直线状光束(LB)的方法，该光照射装置包括沿着一方向(X)排列的复数个光学元件(LED)。该方法具备以下步骤：从各光学元件(LED)照射具有长椭圆形状照射区域(T)的光并将各照射区域(T)重叠，藉此生成具有沿着一方向(X)延伸的光照射面(SF)的直线状光束；使直线状光束的光照射面(SF)沿着一方向(X)正对形成于基板(P)的直线状光硬化性树脂(S)；将直线状光束照射到直线状光硬化性树脂(S)；以及在将直线状光束照射到直线状光硬化性树脂的期间，使直线状光束的光照射面(SF)及基板(P)其中之一沿着一方向(X)相对移动。 |
| 申请公布号 |
TWI402152 |
申请公布日期 |
2013.07.21 |
| 申请号 |
TW099105211 |
申请日期 |
2010.02.23 |
| 申请人 |
爱发科股份有限公司 日本 |
发明人 |
远藤茂;羽田野宪彦;门脇彻二 |
| 分类号 |
B29C35/08;H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;G02F1/1339;B29L31/34 |
主分类号 |
B29C35/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈传岳 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
