研磨装置

摘要

一种研磨装置，可精准地控制研磨压力，正确地定位一压板并且划一地研磨一工作部件。在此研磨装置中，一压紧头具有：用以将一加压流体导入一第一流体室内并压迫一主头段向下的第一加压设备；用以将一加压流体导入一第二流体室并压迫一压板向下的第二加压设备；以及用以将一加压流体导入一第三流体室并压迫工作部件向下的第三加压设备。藉此结构，工作部件系被维持于一弹性板件的底侧，且该工作部件的底面可被一研磨板所辗磨。