适合作为酸产生剂之盐及含有该盐之化学放大型正型光阻组成物

摘要

本发明提供一种下式(I)所示的盐：其中X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3至C30二价基团，而且该C3至C30二价基团中之至少一个－CH2－可用－O－或－CO－予以替代，Y表示可经至少一选自C1至C6烷氧基、C1至C4全氟烷基、C1至C6羟烷基、羟基及氰基的基团取代的C3至C30环状烃基，而且C3至C30环状烃基中之至少一个－CH2－可用－O－或－CO－予以替代，Q1及Q2各自独立地表示氟原子或C1至C6全氟烷基，而且A＋表示有机相对离子。