清理基板用泡沫之产生器

摘要

在例示性实施例中，用以产生泡沫的装置包括母插座及公插头。插头包括来自清洁系统之另一元件的流体所流入的开口。插头包括预混腔室，预混腔室从开口接收流体，且气体注入预混腔室，形成泡沫。在例示性实施例中，腔室为空心柱体，气体穿过与柱体相切的通道而注入柱体。插头亦包括实心柱体，实心柱体外部具有连续螺旋凹部。当公插头插入母插座时，连续螺旋凹部与插座内表面形成螺旋通道，泡沫流过螺旋通道，并在其回到清洁系统的路程上进一步混合。