发明名称 СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛОКАЛЬНЫХ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ГЕТЕРОСТРУКТУР
摘要 1. Способ измерения локальных электромагнитных полей, структурных и кристаллографических свойств внутри полупроводниковых низкоразмерных частиц на поверхности гетеростуктур, включающий в себя облучение лазерными импульсами поверхности образца при изменении расстояния от фокусирующей линзы до образца в условиях жесткой фокусировки, измерение отраженного под углом 45° сигнала второй оптической гармоники, при интенсивности облучения, достигающей величин необходимых для генерации второй оптической гармоники, но не достигающей порогового значения интенсивности пробоя, и последующий расчет по измеренным значениям сигнала второй оптической гармоники карты распределения локальных электромагнитных полей на поверхности гетероструктур и определение качества гетероструктуры по толщине.2. Способ измерения по п.1, отличающийся тем, что направление поляризации линейно-поляризованного излучения накачки плавно изменяется с помощью вращения полуволновой пластины и одновременно с изменением направления поляризации излучения накачки вращается анализатор, пропускающий излучение второй оптической гармоники с поляризацией, сонаправленной с поляризацией накачки или перпендикулярной ей, для определения кристаллографических свойств материала.
申请公布号 RU2012100034(A) 申请公布日期 2013.07.20
申请号 RU20120100034 申请日期 2012.01.10
申请人 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ") 发明人 Дёмин Андрей Васильевич;Заботнов Станислав Васильевич;Золотаревский Юрий Михайлович;Иванов Вячеслав Семенович;Левин Геннадий Генрихович;Федянин Андрей Анатольевич
分类号 H01L21/66;G01N21/55 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址