发明名称 Vakuummesszelle mit einer Blendenanordnung
摘要 <p>Vakuummesszelle (15) mit einer Blendenanordnung mit einem Blendengehäuse (6) welches eine Blende (7) umgibt, wobei das Blendengehäuse (6) eine Ausgangsöffnung (16) zur Verbindung mit einer Vakuummesszelle (15) und eine Anschlussöffnung (22) zur Verbindung mit dem zu messenden Objektraum aufweist und dass die Blende (7) zwischen den beiden Öffnungen (16, 22) angeordnet ist, wobei das Blendengehäuse (6, 14) ein Rohrstück (14) ist und die Blende (7, 20) als Schraubenblende mit spiralförmigen Windungen (21) ausgebildet ist, wobei deren Gewindeflanke im Außendurchmesser an der Innenwandung des Blendengehäuses (14) anliegt, derart dass eine Gasdurchströmung zwischen dem Aussendurchmesser der Gewindeflanke und der Innenwandung gehemmt wird und diese im Wesentlichen in den spiralförmigen Gewindegang gezwungen wird, wobei die Schraubenblende (20) einen stabförmigen Kern (23) aufweist, um welchen die spiralförmigen Windungen angeordnet sind, wobei die Länge (l) der Schraubenblende (20) größer ist als deren Außendurchmesser (2r), wobei die Ausgangsöffnung (16) auf der einen Seite des Rohrstück (14) ist und die Anschlussöffnung (22) auf der anderen gegenüber liegenden Seite ist und die Schraubenblende (20) derart ausgebildet ist, dass in axialer Blickrichtung die Blendenanordnung (25) zwischen den beiden Öffnungen (16, 22) optisch dicht ist, wobei im Bereich der Ausgangsöffnung (16) eine als Siebblende ausgebildete Flachblende (30) angeordnet ist, die an der Schraubenblende (20) fixiert ist.</p>
申请公布号 DE112006003162(B4) 申请公布日期 2013.07.18
申请号 DE20061103162T 申请日期 2006.11.13
申请人 INFICON GMBH 发明人 BJOERKMAN, PER;WAELCHLI, URS;HANSELMANN, HANSJAKOB;DURIS, STANISLAV;WUEEST, MARTIN
分类号 G01L21/00;C23C14/54;G01L7/08;G01L9/00;G01L19/06 主分类号 G01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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