发明名称 Elektrolytische Gold- oder Goldpalladium-Oberflächenveredelungsanwendung in der Bearbeitung eines kernlosen Substrats
摘要 <p>Es werden elektronische Baugruppen, die kernlose Substrate mit einer Oberflächenveredelung enthalten, und deren Herstellung beschrieben. Ein Verfahren enthält das elektrolytische Plattieren einer ersten Kupferschicht auf einem Metallkern in einer Öffnung in einer gemusterten Photoresistschicht. Eine Goldschicht wird elektrolytisch auf die erste Kupferschicht in der Öffnung plattiert. Eine elektrolytisch plattierte Palladiumschicht wird auf der Goldschicht gebildet. Eine zweite Kupferschicht wird elektrolytisch auf der Palladiumschicht plattiert. Nach dem elektrolytischen Plattieren der zweiten Kupferschicht werden der Metallkern und die erste Kupferschicht entfernt, wobei ein kernloses Substrat verbleibt. Andere Ausführungsformen sind beschrieben und beansprucht.</p>
申请公布号 DE112011103224(T5) 申请公布日期 2013.07.18
申请号 DE201111103224T 申请日期 2011.09.26
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 WU, TAO;GURUMURTHY, CHARAVANAKUMARA
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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