| 发明名称 |
Verfahren zum Prozessieren eines Kontaktpads |
| 摘要 |
<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Prozessieren eines Kontaktpads aufweisen: Bereitstellen eines Kontaktpads, wobei eine oberste Schicht des Kontaktpads Aluminium oder eine Aluminiumlegierung aufweist, wobei zumindest ein Teil der obersten Schicht des Kontaktpads freigelegt ist; das Kontaktpad einer thermisch aktivierten Atmosphäre aussetzen, die Wasser oder reaktive Bestandteile von Wasser aufweist.</p> |
| 申请公布号 |
DE102013100079(A1) |
申请公布日期 |
2013.07.18 |
| 申请号 |
DE201310100079 |
申请日期 |
2013.01.07 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KLEINBICHLER, FRANZ;KOITZ, MARCO;KRENN, CHRISTIAN;MAYER, KARL;ZIEGER, GUENTER;ZOTH, GUENTHER |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/56;H01L21/60;H01L29/40 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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