发明名称 Halbleitertransistor mit Grabenkontakten und Herstellungsverfahren dafür
摘要 Hier beschriebene Ausführungsformen beziehen sich auf Halbleitertransistoren mit Grabenkontakten, insbesondere auf Halbleitertransistoren, die eine Feldelektrode unterhalb einer Gateelektrode aufweisen, und auf verwandte Verfahren zur Herstellung von Halbleitertransistoren mit Grabenkontakten.
申请公布号 DE102013100423(A1) 申请公布日期 2013.07.18
申请号 DE201310100423 申请日期 2013.01.16
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AUSTRIA AG 发明人 POELZL, MARTIN;EHRENTRAUT, GEORG
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L21/765;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址