VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABRASTERN EINER OBERFLÄCHE EINES OBJEKTS MIT EINEM TEILCHENSTRAHL

摘要

Ein Verfahren zum Abrastern einer Oberfläche eines Objekts mit einem Teilchenstrahl umfasst ein Festlegen einer Grundmenge an Rasterpunkten innerhalb der Oberfläche; ein Bestimmen einer abzurasternden Teilfläche der Oberfläche des Objekts; ein Ordnen einer Menge von sämtlichen Rasterpunkten der Grundmenge, welche innerhalb der Teilfläche liegen; und ein Abrastern der Teilfläche durch Richten des Teilchenstrahls auf die Rasterpunkte der geordneten Menge in einer der Ordnung der Rasterpunkte entsprechenden Reihenfolge von außen nach innen, d. h. vom Rand der abzurasternden Teilfläche hin zu deren Zentrum, oder umgekehrt, d. h. von innen nach außen.