发明名称 |
一种蒸镀用掩模板及其制作工艺 |
摘要 |
本发明提出一种蒸镀用掩模板及其制作工艺,所述制作工艺包括如下步骤:设置基板;在基板的一面依次电铸至少两层掩模板层,各掩模板层设有开口,掩模板层开口的尺寸随着掩模板层与基板的距离扩大而变大。多层开口排列在一起,大致呈锥形。通过本发明提出的蒸镀用掩模板及其制作工艺,通过电铸多层掩模板层,提高了OLED蒸镀用掩模板的位置精度;提高了OLED蒸镀用掩模板开口尺寸的精度;能够任意控制上下开口的角度,以满足蒸镀要求。 |
申请公布号 |
CN103205695A |
申请公布日期 |
2013.07.17 |
申请号 |
CN201210010754.6 |
申请日期 |
2012.01.16 |
申请人 |
昆山允升吉光电科技有限公司 |
发明人 |
魏志凌;高小平;赵录军;孙倩;郑庆靓 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C25D1/10(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种蒸镀用掩模板的制作工艺,其特征在于,包括如下步骤:设置基板;在基板的一面依次电铸至少两层掩模板层,各掩模板层设有开口,掩模板层开口的尺寸随着掩模板层与基板的距离扩大而变大。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |