发明名称 一种用于石墨舟烘舟工艺的晶片模型
摘要 本实用新型提供一种用于石墨舟烘舟工艺的晶片模型,包括一与所述石墨舟的晶片槽形状及大小相对应的环状主体以及一连接于该环状主体的手把;其中,所述晶片模型为石墨材质的晶片模型;所述环状主体四周的宽度为1cm~4cm;所述手把的长度为2cm~5cm。本实用新型具有以下有益效果:晶片模型的中间部位镂空,大大地节省了材料,有利于降低成本;因为晶片模型中间镂空后难以正常自动上下料,故在晶片模型中加上一个手把,可以方便地进行插片操作。
申请公布号 CN203065573U 申请公布日期 2013.07.17
申请号 CN201220733234.3 申请日期 2012.12.27
申请人 太极能源科技(昆山)有限公司 发明人 童锐;张小刚;杨大谊;储凤舞
分类号 C23C16/00(2006.01)I 主分类号 C23C16/00(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 余明伟
主权项 一种用于石墨舟烘舟工艺的晶片模型,其特征在于,所述晶片模型包括一与所述石墨舟的晶片槽形状及大小相对应的环状主体以及一连接于该环状主体的手把。
地址 215333 江苏省苏州市昆山市开发区蓬朗富春江路1288号(光电产业园)