| 发明名称 | 制备低电阻率、掺杂氧化锌涂层玻璃物件的方法及由此制成的涂层玻璃物件 | ||
| 摘要 | 本发明描述并要求保护一种制备低电阻率、掺杂氧化锌涂层玻璃物件的大气化学气相沉积方法，通过将一个或多个气体反应物流，特别是含锌化合物、含氟化合物、含氧化合物，和至少一种包含硼、铝、镓和铟其中一种或多种的化合物引到热玻璃衬底的表面上而制成。 | ||
| 申请公布号 | CN101541701B | 申请公布日期 | 2013.07.17 |
| 申请号 | CN200780039353.0 | 申请日期 | 2007.05.03 |
| 申请人 | 皮尔金顿集团有限公司;阿肯马公司 | 发明人 | M·B·阿布拉姆斯;R·Y·科罗特科夫;G·S·西尔弗曼;R·史密斯;J·L·斯特里克;K·D·桑德森;L·叶;G·B·古铁雷斯 |
| 分类号 | C03C17/245(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C03C17/245(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 李进;韦欣华 |
| 主权项 | 一种低电阻率、掺杂氧化锌涂层玻璃物件的制备方法，其包括：提供具有待沉积涂层于其上的表面的移动的热玻璃衬底；和将气体反应物引到衬底表面上，在其上沉积掺杂氧化锌涂层，该气体反应物包括含锌化合物、至少一种含氟化合物、至少一种含氧化合物，和至少一种包含选自硼、铝、镓和铟的13族元素的化合物。 | ||
| 地址 | 英国默西赛德郡 | ||