| 发明名称 | 三维立体蒸镀掩模板 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种三维立体蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构。本发明提供的三维立体蒸镀掩模板,具有凹陷区域和凸起区域，包括铁和镍两种元素构成，板面光亮度好，镀层表面质量好，无麻点、针孔，凸起区域不易脱落成本低，工艺简单，节省能源开口精度高，开口质量好，孔壁光滑，具有广阔的市场前景。 | ||
| 申请公布号 | CN103205713A | 申请公布日期 | 2013.07.17 |
| 申请号 | CN201210010714.1 | 申请日期 | 2012.01.16 |
| 申请人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 发明人 | 魏志凌;高小平;郑庆靓;王峰 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种三维立体蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 | ||