二氧化钛负载氧化铈抛光粉的制备方法

摘要

一种二氧化钛负载氧化铈抛光粉的制备方法，是将二氧化钛粉体加入到含分散剂的去离子水中，固体浓度为100～200g/l，用氢氧化钠稀溶液调节pH值在9.5~11.5范围，超声分散1～30min，得到悬浮性能良好的浆料。在50℃~90℃和搅拌条件下，往该浆料中加入硝酸铈溶液，其加量按所含氧化铈与二氧化钛的重量比1～10：100计算，搅拌均匀后老化10-30min，继续加入氢氧化钠稀溶液调节pH值在6.0~10.0范围，再次老化10～30min，使铈离子水解沉积在二氧化钛颗粒表面；抽虑、洗涤，在110℃干燥1～24h，磨细后置于马弗炉中于400～700℃下煅烧2h，取出后磨细，得到所需的二氧化钛负载氧化铈抛光粉。本发明的制备方法简单方便，价格低廉，对硅片表面抛光的速度高和精度高。

主权项

一种二氧化钛负载氧化铈抛光粉的制备方法，其特征是:[1]将二氧化钛粉体加入到含分散剂六偏磷酸钠的去离子水中，二氧化钛粉体浓度为100～200g/l，六偏磷酸钠的加量以P2O5计为二氧化钛粉体质量的0.5%；用氢氧化钠稀溶液调节pH值在9.5 ~ 11.5范围，超声分散1～30min，得到悬浮性能良好的浆料； [2]在50℃~ 90℃和搅拌条件下，在步骤[1]浆料中加入硝酸铈溶液，其加量按所含氧化铈与二氧化钛重量的比值1～10：100计算，搅拌均匀后老化10～30min，继续加入氢氧化钠稀溶液调节pH值在6.0~10.0范围，再次老化10～30min，使铈离子水解沉积在二氧化钛颗粒表面；[3]抽虑、洗涤，在110℃干燥1～24h，粉碎后置于马弗炉中于400～700 ℃煅烧2h，取出后粉碎，得到所需的二氧化钛负载氧化铈抛光粉CeO2@TiO2。