| 发明名称 | 单元式溅射抽气模块 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种单元式溅射抽气模块，包括镀膜腔体和盖板，所述镀膜腔体呈长方体，中间设置多个将腔体分割成多个独立井位单元的隔板，所述镀膜腔体还包括腔体顶板，所述腔体顶板开有多个用于放置盖板的相同形状的矩形缺口，每个盖板以密封的方式设置在所述缺口上。本单元式溅射抽气模块结构简单，各个不同井位互换功能时操作方便。 | ||
| 申请公布号 | CN103205725A | 申请公布日期 | 2013.07.17 |
| 申请号 | CN201210013235.5 | 申请日期 | 2012.01.17 |
| 申请人 | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 | 发明人 | 施玉安 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C03C17/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 胡美强;杨东明 |
| 主权项 | 一种单元式溅射抽气模块，包括镀膜腔体和盖板，其特征在于，所述镀膜腔体呈长方体，中间设置多个将腔体分割成多个独立井位单元的隔板，所述镀膜腔体还包括腔体顶板，所述腔体顶板开有多个用于放置盖板的相同形状的矩形缺口，每个盖板以密封的方式设置在所述缺口上。 | ||
| 地址 | 201614 上海市松江区松江科技园区光华路328号3层 | ||