具有研磨粒的抛光垫及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有研磨粒的抛光垫及其制造方法。所述具有研磨粒的抛光垫包括多条纤维、多个研磨粒和一高分子体。所述纤维交错排列成纤维基材。所述研磨粒附着在所述纤维上。所述高分子体包覆所述纤维和所述研磨粒。借此，所述纤维的柔韧性使所述研磨粒不易刮伤被抛光工件的表面。

主权项

一种具有研磨粒的抛光垫，包括：多条纤维，其交错排列成纤维基材；多个研磨粒，其附着在所述纤维上，其中所述研磨粒位于所述纤维的内部，且部分所述研磨粒显露于所述纤维的表面；以及高分子体，其包覆所述纤维和所述研磨粒，所述高分子体具有第一表面和第二表面，部分所述纤维和部分所述研磨粒显露于所述第一表面，在抛光过程中，由于所述纤维本身的柔韧性，使得显露于第一表面的纤维会随着研磨液的流动或所述抛光垫与被抛光工件之间的应力作用而摆动，导致附着在其上的研磨粒也随之移动。