大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置

摘要

本实用新型公开了一种大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置，是利用一束强照明光束和一束弱照明光束照射大口径光学元件，强照明光束与吸收缺陷相作用激发产生荧光，弱照明光束与非吸收缺陷相作用引起光束的散射，通过对荧光和散射光的分别检测来获得大口径光学元件吸收缺陷和非吸收缺陷的信息。本实用新型中，采用内全反射式的照明方式，对大口径光学元件内部多个区域同时进行照明检测，提高了检测效率。本实用新型在检测端，采用焦深小的成像系统或利用共聚焦成像的方法，只对表面及亚表面缺陷进行检测。本实用新型适用于光学无损探伤、光学精密检测、光学显微成像与缺陷分析、特别适用于强激光系统内的大口径透明光学元件表面及亚表面缺陷检测等多个领域。

主权项

大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置，其特征在于：包括有强照明光源、弱照明光源、设置于强照明光源发射端和大口径光学元件入射侧面之间的强照明光束整形处理装置、设置于弱强照明光源发射端和大口径光学元件入射侧面之间的弱照明光束整形处理装置、相对大口径光学元件表面设置的成像检测系统。