主权项 |
1.自由空间传输的近场光学诱导表面微结构平滑方法,其特征在于所述方法通过近场光学诱导表面微结构装置实现,所述装置包括激光器(1)、快门(2)、凸透镜(3)、XYZ平台(4)、半导体激光器(7)、探测器(8)、探测器位置控制单元(9)、计算机(10)、XYZ 平台控制器(11)和反应室(12), XYZ平台(4)上设有反应室(12),反应室(12)一侧下部设有减压器和电磁阀,用于充入氯气,上部设有扩散泵和冷却阱,用于排出气体,激光器(1)的出光口通过快门(2)对准凸透镜(3)的进光口,凸透镜(3)的出光口对准反应室(12)的进光口,半导体激光器(7)连接探测器(8),探测器(8)连接探测器位置控制单元(9)的输入端,探测器位置控制单元(9)的输出端连接计算机(10)输入端,用以检测基板是否平整,计算机(10)输出端连接XYZ平台控制器(11),XYZ平台(4)通过XYZ平台控制器(11)进行控制;具体步骤如下:(1)对反应室抽真空,真空度为10<sup>-3</sup>pa,随后充入10pa-200pa的氯气;(2)选用离子源对基板表面清洗5分钟,控制氧离子流量为30~50sccm,氩离子流量为5~30sccm,电压为200V~600V,电流为300mA~1000mA;(3)将清洗后的基板放入反应室;(4)选用氩离子激光器作为光源,其波长为300-700nm,功率密度为0.25-0.35<img file="201310066774X100001DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="49" he="25" />,打开快门后,入射光于自由空间经过凸透镜耦合至反应室;(5)步骤(4)中的入射光垂直入射于基板,此时纳米尺度的微结构产生光学近场,导致<img file="201310066774X100001DEST_PATH_IMAGE004.GIF" wi="26" he="24" />分子与基板原子进行选择性光化学反应;一旦表面微结构消失、光学近场消失、反应也将停止;(6)半导体激光器的光线经基板反射到探测器,通过探测器位置控制单元后连接到计算机,以便观察基板是否平整;(7)待反应结束、反应室冷却至室温后取出刻蚀好的基板。 |