| 发明名称 | 接触探针销 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种接触探针销，其对于前端分割的基材，形成兼备导电性和耐久性的碳皮膜，即使在使用环境达到高温这样的状况下，也能够极力减少Sn附着，长期保持稳定的电接触。本发明涉及一种接触探针销，其具有被分割成2相以上的突起的前端，由该突起反复与被测面接触的接触探针销，其中，至少在所述突起的表面，形成含有金属元素的碳皮膜，并且所述突起的顶部的曲率半径为30μm以上。 | ||
| 申请公布号 | CN103210314A | 申请公布日期 | 2013.07.17 |
| 申请号 | CN201180055264.1 | 申请日期 | 2011.11.16 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研 | 发明人 | 平野贵之;古保里隆 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/067(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 龚敏 |
| 主权项 | 一种接触探针销，其特征在于，是具有分割成2个以上的突起的前端，由该突起反复与被测面接触的接触探针销，其中，至少在所述突起的表面形成含有金属元素的碳皮膜，并且所述突起的顶部的曲率半径为30μm以上。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||