| 发明名称 | 正型光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作在由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的抗蚀剂。 | ||
| 申请公布号 | CN103210349A | 申请公布日期 | 2013.07.17 |
| 申请号 | CN201180054437.8 | 申请日期 | 2011.10.25 |
| 申请人 | DIC株式会社 | 发明人 | 鹿毛孝和;今泉规史 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01)I;C08G61/12(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||