一种SiC桨的装载装置

摘要

本实用新型公开了一种SiC桨的装载装置，包括框架（1），该框架（1）由上板（11）、下板（12）和两侧板（13）围合组成，其中一个侧板（13）开有通槽（131），所述框架（1）内的两侧分别设有一个夹持件（2），所述夹持件（2）上竖直方向伸出有支撑柱（3），所述的两个夹持件（2）相对设置，使其中一个夹持件（2）的支撑柱（3）向上伸出，另一个夹持件（2）的支撑柱（3）向下伸出，对应在支撑柱（3）伸出位置的上板（11）和下板（12）上分别开有凹槽（4），所述支撑柱（3）间隙配合于对应凹槽（4）内。本实用新型可使SiC桨柔性固定在夹持件上，使安装于SiC桨上石英舟的硅片运行过程平稳、无明显振动。

主权项

一种SiC桨的装载装置，包括用于固定SiC桨的框架（1），该框架（1）由上板（11）、下板（12）和两侧板（13）围合组成，其中一个侧板（13）开有供SiC桨穿过的通槽（131），其特征在于：所述框架（1）内的两侧分别设有一个用于夹持SiC桨的夹持件（2），所述夹持件（2）上竖直方向伸出有支撑柱（3），所述的两个夹持件（2）相对设置，使其中一个夹持件（2）的支撑柱（3）向上伸出，另一个夹持件（2）的支撑柱（3）向下伸出，对应在支撑柱（3）伸出位置的上板（11）和下板（12）上分别开有凹槽（4），所述支撑柱（3）间隙配合于对应凹槽（4）内。