一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置，它包括机架（1），在机架（1）的上方设有回转台（4），两者通过回转支承（6）活动连接；在机架（1）内设有升降气缸（3）和灯架（7），所述升降气缸（3）的底部固定在机架（1）上，升降端与灯架（7）相连接，所述灯架（7）上设有检测灯（8），在机架（1）及回转台（4）上设有与灯架（7）大小相匹配的开口，灯架（7）通过机架（1）及回转台（4）上的开口上下运动。本实用新型提供的这种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置用于对多晶硅铸锭石英坩埚进行灯光检测，检查人员从坩埚的外面进行观察，通过从坩埚壁上透过来的检测灯光就可判断坩埚是否存在质量问题。

主权项

一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置，其特征是它包括机架（1），在机架（1）的上方设有回转台（4），两者通过回转支承（6）活动连接；在机架（1）内设有升降气缸（3）和灯架（7），所述升降气缸（3）的底部固定在机架（1）上，升降端与灯架（7）相连接，所述灯架（7）上设有检测灯（8），在机架（1）及回转台（4）上设有与灯架（7）大小相匹配的开口，灯架（7）通过机架（1）及回转台（4）上的开口上下运动。