一种半导体晶片举升装置

摘要

本发明涉及一种半导体晶片举升装置，包括用于举升半导体晶片的举升座、与该举升座相连的举升机构以及驱动所述举升机构的驱动装置，所述举升机构包括作用于所述举升座的连接杆以及与所述连接杆相连的传动机构，所述驱动装置驱动所述传动机构，并由该传动机构通过连接杆带动所述举升座在举升方向上变速运动。由于本发明可以通过利用曲柄连杆或凸轮机构等传动装置特殊的运动规律，实现半导体晶片举升装置正弦曲线的运动规律，控制柱状举升结构移动的速度，实现晶片在入座和离座过程中慢快慢的动作，从而防止对晶片的损坏。

主权项

一种半导体晶片举升装置，包括用于举升半导体晶片的举升座、与该举升座相连的举升机构以及驱动所述举升机构的驱动装置，其特征在于：所述举升机构包括作用于所述举升座的连接杆以及与所述连接杆相连的传动机构，所述驱动装置驱动所述传动机构，并由该传动机构通过连接杆带动所述举升座在举升方向上做变速直线运动；所述传动机构包括曲柄，该曲柄的一端通过固定转轴与所述驱动装置相连，曲柄的另一端通过转轴与所述连接杆相连，所述连接杆通过固定轴与所述举升座可转动连接；所述变速直线运动的速度与曲柄的旋转角度呈正弦曲线的运动规律。