在基底上沉积材料的系统和方法

摘要

本发明公开了一种在基底上沉积材料的系统和方法。在基底上沉积材料的系统和方法包括紧邻分配器设置的等离子体源，分配器被构造为在基底上提供半导体涂层。

主权项

一种沉积系统，所述沉积系统包括：分配器，被构造为蒸发半导体材料，并通过所述分配器中的至少一个分配孔引导蒸发的半导体材料以沉积在基底上；第一电源，被构造为加热所述分配器；等离子体源，所述等离子体源具有被构造为驱动所述等离子体源的电极，其中，所述电极电学地独立于所述第一电源，并且所述等离子体源设置在所述分配器中的所述至少一个分配孔和所述基底之间，从而使蒸发的半导体材料在沉积在基底之前暴露于等离子体。