| 发明名称 | 用于模具的等离子处理的装置、承载架和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种用于模具(2)特别是接触透镜模具的等离子处理的装置，包括处理室(50)，在该处理室内，第一电极(51)被设置成朝向承载待被处理的模具(2)的承载架(1；4)，所述承载架(1；4)形成第二电极(52)并且包括其上具有孔(100；400)的第一金属板(10；40)和第二金属板(11；41)，所述第二金属板与第一金属板(10；40)间隔设置并且与第一金属板(10；40)以导电方式(12，13；43)连接，所述模具(2)设置在第二金属板(11；41)上，所述模具的模制表面(210)朝向第一电极(51)并且通过第一金属板(10；40)中的孔(100；400)暴露于等离子。 | ||
| 申请公布号 | CN101925975B | 申请公布日期 | 2013.07.17 |
| 申请号 | CN200980102905.7 | 申请日期 | 2009.01.21 |
| 申请人 | 诺瓦提斯公司 | 发明人 | G·科科拉;A·海因里希;P·海格曼 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;B29C33/56(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 吴鹏;厉锦 |
| 主权项 | 一种用于模具(2)的等离子处理的装置，包括处理室(50)，在该处理室内，第一电极(51)被设置成朝向承载待被处理的模具(2)的承载架(1；4)，所述承载架(1；4)形成第二电极(52)并且包括其上具有孔(100；400)的第一金属板(10；40)和第二金属板(11；41)，所述第二金属板与第一金属板(10；40)间隔设置并且与第一金属板(10；40)以导电方式(12，13；43)连接，所述模具(2)设置在第二金属板(11；41)上，所述模具的模制表面(210)朝向第一电极(51)并且通过第一金属板(10；40)中的孔(100；400)暴露于等离子，其中，两个或者多个模具(2)彼此间隔一定距离设置在独立的保持件(3)内，所述间隔距离对应于第一金属板(10；40)内的孔(100；400)的距离，以便在将保持两个或者多个模具(2)的保持件(3)放置在第二金属板(11；41)上时，所述保持件(3)被设置在第一金属板和第二金属板之间，并且所述模具(2)与第一金属板(10；40)中的孔(100；400)保持一致。 | ||
| 地址 | 瑞士巴塞尔 | ||