主权项 |
用于控制或者调节真空阀的方法,所述真空阀包括:‑具有阀孔(2)的阀体(1),‑闭锁元件(3),该闭锁元件(3)能够为关闭所述真空阀而在打开位置与关闭位置之间调整并且在所述关闭位置中将所述阀孔(2)闭锁,其中在所述关闭位置中用压紧力将至少一个有弹性的密封件(4)压紧到密封面(35)上并且所述至少一个有弹性的密封件(4)在打开位置中离开所述密封面(35),‑用于调整所述闭锁元件(3)的执行器(5)以及‑控制装置(9),借助于该控制装置(9)来触发所述执行器(5)并且由该控制装置(9)来设定在所述闭锁元件(3)的关闭位置中作用于有弹性的密封件(4)上的压紧力,其特征在于,由所述控制装置(9)在依赖于至少一个参数的情况下来设定在所述闭锁元件(3)的关闭位置中作用于有弹性的密封件(4)上的压紧力,所述参数代表着所述关闭的真空阀的至少两种可能的配置方案之一,其中,所述关闭的真空阀的配置方案是所述有弹性的密封件(4)或所述闭锁元件(3)的结构,其中,在依赖于所述有弹性的密封件(4)或者所述闭锁元件(3)的结构的情况下设定作用于所述有弹性的密封件(4)上的压紧力,其中能够使用有弹性的密封件(4)和/或闭锁元件(3)的至少两种不同的结构。 |