发明名称 一种蒸镀掩模板的制备方法
摘要 本发明公开了一种蒸镀掩模板的制备方法,所述掩模板为采用电铸工艺制作的镍铁合金材料的掩模板;所述镍铁合金材料包括镍和铁两种元素,其铁元素的含量为56%~62%;所述镍铁合金材料的制备方法为:采用电铸方法,以硫酸盐体系作为电铸液,金属阴阳极置于电铸液中,并在阴极沉积镍铁合金;所述电铸液具体包括:220~260g/L的硫酸镍、30~50g/L的氯化镍、40~50g/L的硼酸、21~25g/L的硫酸亚铁。本发明使用电铸工艺来代替蚀刻工艺,得到的产品开口质量好,光滑、无毛刺,精度高;该工艺减少镍的使用量,节省成本,减轻三废治理负担;该工艺可得到铁含量在56%~62%范围的合金镀层,即能够得到不同磁性能的大平面金属掩模镀层。
申请公布号 CN103205784A 申请公布日期 2013.07.17
申请号 CN201210010759.9 申请日期 2012.01.16
申请人 昆山允升吉光电科技有限公司 发明人 魏志凌;高小平
分类号 C25D1/10(2006.01)I;C25D3/56(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C25D1/10(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种蒸镀掩模板的制备方法,其特征在于,所述掩模板为采用电铸工艺制作的镍铁合金材料的掩模板;所述镍铁合金材料包括镍和铁两种元素,其铁元素的含量为56%~62%;所述镍铁合金材料的制备方法为:采用电铸方法,以硫酸盐体系作为电铸液,金属阴阳极置于电铸液中,并在阴极沉积镍铁合金;所述电铸液具体包括:220~260g/L的硫酸镍、30~50g/L的氯化镍、40~50 g/L的硼酸、21~25g/L的硫酸亚铁。
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