浮动卡盘装置及浮动卡盘单元

摘要

本发明提供能够以简易的构成使卡盘可浮动并实现紧凑化的浮动卡盘装置及浮动卡盘单元。浮动卡盘装置(10)具有沿上下方向延伸的轴部(2)，使其前端的吸附部吸附工件来保持该工件(W)的卡盘(20)，相对使该卡盘(20)移动的移动基板(3)被支承为能够浮动，浮动卡盘单元(1)并列设置有多个浮动卡盘装置(10)，在浮动卡盘装置或浮动卡盘单元中，卡盘(20)上设置有凸缘部(22)，设有具备插通轴部(21)的卡盘插通孔(11c)，并支承凸缘部(22)的第一导向块(11)；和与该第一导向块(11)成对，从上方将凸缘部(22)夹入的第二导向块(12)；第一导向块(11)与凸缘(22)之间、及卡盘插通孔(11c)与轴部(21)之间形成有间隙(n1、n2)。

主权项

一种浮动卡盘装置，具有沿上下方向延伸的轴部，卡盘相对使该卡盘移动的移动机构被支承为能够浮动，该卡盘使其前端的吸附部吸附工件来保持该工件，其特征在于，前述卡盘具有从前述轴部向径向外侧突出的凸缘部，设置有具备沿上下方向插通前述轴部的插通孔，并从下方支承前述凸缘部的第一导向块；和与该第一导向块成对，从上方将前述凸缘部夹入的第二导向块；前述第二导向块与前述凸缘之间、及前述插通孔与前述轴部之间形成有间隙，设置有将前述卡盘相对前述第二导向块进行定位的卡盘固定机构。