高精度编码器和角度传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种高精度编码器和角度传感器的制备方法，在基片上镀上磁性介质薄膜材料，再对其进行半导体微加工处理形成由于测量的周期性或非周期性的磁性图案，再利用磁性传感器对磁性条纹和图案进行探测，然后配上外围电路后得到，可用来进行高精度的角度和位置测量。采用本发明方法制备的高精度编码器和角度传感器的分辨率和灵敏度高，成本低且制备工艺简单，抗干扰性强，且可以制作体积更小的磁性编码器和角度传感器等。

主权项

一种高精度编码器和角度传感器的制备方法，其特征在于：其具体包括以下步骤：（1）、选用圆形玻璃片作为基片，依次用丙酮、无水乙醇和去离子水并采用超声波清洗基片10~15分钟，除去基片的表面油污和物理吸附杂质；（2）、采用电镀或涂布的方法在基片的两面镀上一层磁性薄膜介质材料；（3）、采用半导体光刻工艺在已镀上磁性薄膜介质材料的基片的一面刻出间断的或不间断的、周期性的或非周期性的条纹或其他任意图案；（4）、采用半导体光刻工艺在已镀上磁性薄膜介质材料的基片的另一面刻出任意的单个线条或单个的其他任意图案；（5）、由于编码器必须有一个参考点作为初始化用，也可看作是计数的起点，即参考点，因此采用二个磁敏传感器分别对基片两面进行探测，以其中基片的一面输出的信号作为编码器的参考点信号，作参考点之用，或技术的起点之用，确定编码器的初始位置，再以基片的另一面输出的信号作为编码器的输出信号，用于编码器的计数，然后对二个磁敏传感器分别配上外围电路，最终得到高精度编码器和角度传感器。